Varian 969-9127 Instructions For Use Manual

969-9127
Varian
Marca
Varian
Modello
969-9127
Tipo
Instructions For Use Manual

Questo manuale è adatto anche per

Turbo-V 2000 ICE
pumps
Model 969-9125
Model 969-9126
Model 969-9127
MANUALE DI ISTRUZIONI
BEDIENUNGSHANDBUCH
NOTICE DE MODE D’EMPLOI
MANUAL DE INSTRUCCIONES
MANUAL DE INSTRUÇÕES
BEDRIJFSHANDLEIDING
INSTRUKSTIONSBOG
BRUKSANVISNING
INSTRUKSJON MANUAL
OHJEKÄSIKIRJA
ODHGIES CRHSEWS
INSTRUCTION MANUAL
87-900-915-01(E)
APRIL 2002
Turbo-V 2000 ICE
ISTRUZIONI PER L’USO .................................................................................................... 1
GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................. 3
MODE D’EMPLOI................................................................................................................ 5
INSTRUCCIONES DE USO ................................................................................................ 7
INSTRUÇÕES PARA O USO.............................................................................................. 9
GEBRUIKSAANWIJZINGEN ............................................................................................. 11
BRUGSANVISNING .......................................................................................................... 13
BRUKSANVISNING........................................................................................................... 15
BRUKERVEILEDNING ...................................................................................................... 17
KÄYTTÖOHJEET ..............................................................................................................19
PDHGIES CRHSEWS ............................................................................................................ 21
INSTRUCTIONS FOR USE............................................................................................... 23
TECHNICAL INFORMATION ............................................................................................ 25
DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP ......................................................................................25
TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................26
INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................29
HEATING JACKET INSTALLATION............................................................................................29
WATER COOLING KIT INSTALLATION .....................................................................................30
VENT DEVICE INSTALLATION ..................................................................................................31
VENT VALVE INSTALLATION ....................................................................................................32
PUMP USED WITH CORROSIVE GASES .................................................................................33
Gas Purge..........................................................................................................................33
Gas Purge Vent Device Description..................................................................................33
Solid State Flowmeter Installation .....................................................................................33
Roughing Operation...........................................................................................................34
Pump and chamber at atmosphere ...................................................................................34
Pump under vacuum, chamber at atmosphere (chamber cleaning) .................................34
Suggested Pump Installation .............................................................................................34
Vent Operation...................................................................................................................35
HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION...................................................................................35
FORE-VACUUM PUMP CONNECTION .....................................................................................35
ELECTRICAL CONNECTION......................................................................................................35
MOVING THE GAS PURGE VALVE AND FOREVACUUM PUMP CONNECTIONS ................36
PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS ..............................................................36
ACCESSORIES ...........................................................................................................................36
ISTRUZIONI PER L’USO
1 87-900-915-01(E)
INFORMAZIONI GENERALI
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla
Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si
ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute
all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso
improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi
non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali
specifiche.
Le pompe della serie Turbo-V2000 ICE sono pompe
turbomolecolari per applicazioni di alto e ultra alto vuoto, capaci
di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso. Non
sono adatte per il pompaggio di liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad
elevata velocità (33000 giri/min. max) mossa da un motore
elettrico trifase ad alto rendimento. Le pompe Turbo-V2000 ICE
sono totalmente prive di agenti contaminanti, e sono quindi
adatte per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito".
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni
necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante
l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono
fornite nell'appendice “Technical information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
,
PERICOLO!
I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo
corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure
che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec-
chiatura.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal
testo.
IMMAGAZZINAMENTO
Durante il trasporto e l'immagazzinamento delle pompe non
devono essere superate le seguenti condizioni ambientali:
− temperatura: da -20 °C a +70 °C
− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante)
Se il tempo di immagazzinamento è molto lungo, avviare la
pompa nel modo SOFT START (vedere il manuale del control-
ler).
PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE
La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si
presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati
durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare
attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad
urti o vibrazioni.
Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è
completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399
per la tutela dell'ambiente.
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le
mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto.
Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.
NOTA
La pompa non può essere danneggiata rimanendo
semplicemente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di
mantenerla chiusa fino al momento dell'installazione sul
sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.
INSTALLAZIONE
,
PERICOLO!
La pompa, a causa del suo peso, deve essere maneggiata
tramite appositi attrezzi di sollevamento e spostamento.
All’uopo utilizzare gli appositi golfari da avvitare nei fori filettati
M8 praticati sull’involucro della pompa.
Assicurarsi che la pompa sia adatta per la propria applicazione.
La pompa è stata progettata per uso in sistemi di pompaggio
per PVD o generalmente per applicazioni in cui si richieda un
vuoto "pulito". Contattare Varian Vacuum Technologies o il
vostro fornitore per altre applicazioni.
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad
agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi,
in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
ATTENZIONE!
Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al
momento del collegamento della turbopompa al sistema.
ISTRUZIONI PER L’USO
2 87-900-915-01(E)
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
− pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
− temperatura: da + 5 °C a +35 °C
− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere
protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice
"Technical Information" per ulteriori dettagli.
Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V2000 ICE devono
essere utilizzate solo con uno degli appositi controllori Varian
(serie 969-9448, 969-9449) e devono essere collegate ad una
pompa primaria (vedere schema in "Technical Information").
La turbopompa può essere installata in qualsiasi posizione.
Se fissata in posizione orizzontale, assicurarsi che il controller
sia predisposto per “operazione in posizione orizzontale”.
Fissare la turbopompa in posizione stabile collegando la flangia
di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace
di resistere ad una coppia di 20000 Nm attorno al proprio asse.
La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata
alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti
singoli. La seguente tabella descrive il numero di morsetti
necessari e con quale coppia di serraggio stringerli.
FLANGIA TIPO DI
MORSETTO
N. COPPIA DI
SERRAGGIO
ISO K 250 Morsetto doppio
con filettatura M10
12 22 Nm
Morsetto singolo
con filettatura M10
12 22 Nm
La turbopompa con flangia di ingresso ISO F 250 (bolted) deve
essere fissata alla camera da vuoto con 12 bulloni M10.
La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere
fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria
meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice
"Technical Information".
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical
Information".
USO
Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopompa
sono contenute nel manuale dell'unità di controllo. Leggere
attentamente tale manuale prima dell'utilizzo. Per raggiungere
migliori pressioni limite è possibile riscaldare l'involucro della
pompa utilizzando il riscaldatore opzionale.
Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, le
temperature della flangia di ingresso e del rotore non devono
essere superiori a 120 °C. Utilizzare sempre il raffreddamento ad
acqua durante le operazioni di riscaldamento.
,
PERICOLO!
Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante
le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può
causare lesioni alle persone.
ATTENZIONE!
Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte
esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso
attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la
pressione atmosferica).
ATTENZIONE!
Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa
quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi.
ATTENZIONE!
Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate
di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire
alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per
proteggere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical
Information").
,
PERICOLO!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas
tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate
procedure tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in
presenza di gas esplosivi.
MANUTENZIONE
Le pompe della serie Turbo-V2000 ICE non richiedono alcuna
manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da
personale autorizzato.
,
PERICOLO!
Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla turbopompa
scollegare il connettore di alimentazione, mandare all'aria la
pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo
arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale
della pompa sia inferiore a 50°C.
In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di
riparazione Varian o del "Varian advanced exchange service",
che permette di ottenere una pompa rigenerata in sostituzione
di quella guasta.
NOTA
Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o
advanced exchange service, è indispensabile compilare e far
pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salute"
allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa deve
essere inserita nell'imballo della pompa prima della spedizione.
Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla
sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali
specifiche.
,
PERICOLO!
Per evitare lesioni alla persona non inserire mai, per alcun
motivo, le dita oppure oggetti nella bocca d’ingresso della
turbopompa. Si consiglia l’uso della retina di protezione
(opzionale). Se viene utilizzato uno smorzatore di vibrazioni
oppure un soffietto metallico flessibile sulla bocca
d’ingresso, fissare sempre la turbopompa alla base.
NO!
GEBRAUCHSANLEITUNG
3 87-900-915-01(E)
ALLGEMEINES
Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch
sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren
mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei
Nichtbeachtung -auch teilweise- der enthaltenen Hinweise,
unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht
autorisierten Eingriffen und Mißachtung der einheimischen, hier
zur Geltung kommenden Bestimmungen übernimmt die Firma
Varian keinerlei Haftung.
Bei den Pumpen der Serie Turbo-V2000 ICE handelt es sich
um Turbomolekularpumpen für Hoch- und
Ultrahochvakuumanwendungen. Sie eignen sich zur Förderung
von jeder Art von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht
jedoch zur Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikel.
Die Pumpwirkung wird durch eine
Hochgeschwindigkeitsdrehturbine (max. 33000 U/Min) erreicht,
die von einem Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird.
Die Turbo-V2000 ICE -Pumpen enthalten keinerlei
umweltschädliche Substanzen und eignen sich deshalb auch
für Anwendungszwecke, die ein "sauberes" Vakuum
vorschreiben
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen
Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der
Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte technische
Informationen sind im Anhang "Technical Information"
enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
,
GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des
Bedieners auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei
unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen
können.
ACHTUNG!
Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den
Bediener darauf aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schäden
an der Anlage entstehen können.
ANMERKUNG
Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus
dem Text hervorgehoben werden.
LAGERUNG
Beim Transport und bei der Lagerung der Pumpen müssen
folgende klimatische Verhältnisse vorliegen:
- Temperatur: von -20°C bis +70°C
- Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% (nicht kondensierend).
Nach extrem langer Lagerung muß die Pumpe bei
Inbetriebsetzung im SOFT START-Modus gestartet werden
(siehe Handbuch der Steuereinheit).
VOR DER INSTALLATION
Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung
geliefert. Eventuelle Transportschäden müssen der
zuständigen örtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden.
Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht
fällt oder Stößen ausgesetzt wird.
Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist
vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399
für Umweltschutz.
ACHTUNG!
Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, dürfen die
Komponenten, die in Berührung mit dem Vakuum kommen,
nicht mit bloßen Händen angefaßt werden. Immer Handschuhe
oder einen anderen geeigneten Schutz tragen.
ANMERKUNG
Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Atmosphäre
ausgesetzt ist, keine Schäden erleiden. Sie sollte jedoch bis zur
Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um
Staubverschmutzungen zu vermeiden.
INSTALLATION
,
GEFAHR!
Aufgrund ihres Gewichtes darf die Pumpe nur mit entsprechend
geeigneten Geräten angehoben und transportiert werden. Zu
diesem Zweck sind die dafür vorgesehenen Ringschrauben zu
verwenden, die in die Gewindebohrungen M8 am
Pumpengehäuse einzuschrauben sind.
Überprüfen, dass die Pumpe für die betreffende Anwendung
geeignet ist. Die Pumpe wurde für den Gebrauch in PVD-
Pumpsystemen und im Allgemeinen für Anwendungen, bei
denen ein “sauberes” Vakuum erforderlich ist, konzipiert. Für
anderweitige Anwendungen ist mit Varian Vacuum
Technologies oder mit Ihrem Lieferanten Rücksprache zu
halten.
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die
ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und
aggressiven Gasen sind, und in denen Explosions- und erhöhte
Brandgefahr besteht.
ACHTUNG!
Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim
Anschluß der Turbopumpe an die Anlage.
GEBRAUCHSANLEITUNG
4 87-900-915-01(E)
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein-
gehalten werden:
- Maximaldruck: 2 Bar über dem atmosphärischen Druck
- Temperatur: von +5°C bis +35°C
- Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend)
Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über Ein-
satz eines entsprechend geeigneten Schutzschirms geschützt
werden. Weitere Hinweise: siehe Anhang "Technical Informati-
on”.
Die Turbomolekularpumpen der Serie Turbo-V2000 ICE dürfen
nur mit einer der Varian-Spezial-Controller (Serie 969-9448,
969-9449) benutzt werden und müssen an eine Primärpumpe
angeschlossen werden (siehe Schema in "Technical Informati-
on"). Die Turbopumpen können in jeder Position installiert wer-
den.
Bei waagerechter Pumpenlage ist sicherzustellen, daß der
Controller für den “Betrieb in waagerechter Lage” vorgese-
hen ist.
Installieren Sie die Pumpe in einer stabilen Position, indem Sie
den Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Ge-
genflansch anschließen, der ein Drehmoment von 20000 Nm
um seine eigene Achse aushält.
Turbopumpen mit einem ISO-Eingangsflansch müssen mittels
doppelten oder einfachen Klemmschellen an die Vakuumkam-
mer angeschlossen werden. In der nachstehenden Tabelle
sind die Anzahl der Klemmschellen und der Anzugsmoment für
die jeweiligen Flanschgrößen und Klemmenarten angegeben.
FLANSCH
KLEMM-
SCHELLE
AN.
ANZUGS-
MOMENT
ISO K 250
Doppelklemme mit
M10-Gewinde
12
22 Nm
Einzelschelle mit
M10-Gewinde
12
22 Nm
Die Turbopumpe mit Eintrittsflansch ISO F 250 (bolted) ist an
der Vakuumkammer mit 12 Mutterschrauben M10 zu befesti-
gen. Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch müssen mit
dem speziellen Varian- Befestigungsmaterial an die Vakuum-
kammer angeschlossen werden. Weitere Hinweise: siehe An-
hang "Technical Information".
Installation Sonderzubehör: siehe "Technical Information“.
ANWENDUNG
Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe
sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen
werden.
Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das Pumpen-
gehäuse mit einer Heizmanschette (Optional) ausgeheizt wer-
den. Während der eventuellen Erwärmung der Vakuumkammer
darf die Temperatur des Eingangsflanschs und des Rotors
120°C nicht überschreiten. Vakuumsystemen die TP mit Was-
serkühlung arbeiten.
!
!!
!
GEFAHR!
Während des Ausheizens dürfen weder die Pumpe noch even-
tuelle heiße Anschlußteile berührt werden, denn es besteht
Verbrennungsgefahr.
!
!!
!
ACHTUNG
!
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüf-
tungsanschluß muß kleiner als 2 bar über dem atmosphäri-
schen Druck sein.
!
!!
!
ACHTUNG
!
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager beschädigt werden könnten.
!
!!
!
ACHTUNG
!
Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit
einer Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der
Lager ausschließlich Edelgas (Stickstoff oder Argon) zugeführt
werden darf (siehe Anhang "Technical Information").
!
!!
!
GEFAHR!
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflamm-
baren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, müssen die für
das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnah-
men befolgt werden.
Benutzen Sie die Pumpe niemals in Präsenz von explosiven
Gasen.
WARTUNG
Die Pumpen der Serie Turbo-V2000 ICE sind wartungsfrei. E-
ventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal
ausgeführt werden.
!
!!
!
GEFAHR!
Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur
am Pumpenghehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der "Varian
advanced exchange service" in Anspruch genommen werden.
ANMERKUNG
Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Hand-
buch beiliegt, ausgefüllt an Varian geschickt und bestätigt wer-
den. Eine Kopie muß den Frachtpapieren beigelegt werden.
Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der ein-
schlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen.
!
!!
!
GEFAHR!
Um Verletzungen auszuschließen, darf auf auf keinen Fall
in die Einlaßöffnung der Turbopumpe gegriffen oder ir-
gendwelche Gegenstände eingeführt werden. Es wird emp-
fohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzubehör).
Bei Installation eines Erschütterungsdämpfers oder eines
flexiblen Metallbalges auf der Einlaßöffnung muß die Tur-
bopumpe immer am Unterteil fest installiert.
NEIN
!
MODE D’EMPLOI
5 87-900-915-01(E)
INDICATIONS GENERALES
Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation
professionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire
attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre
indication supplémentaire fournie par Varian, avant d'utiliser
l'appareil. Varian décline par conséquent toute responsabilité
en cas d'inobservation totale ou partielle des instructions
données, d'utilisation incorrecte de la part d'un personnel non
formé, d'opérations non autorisées ou d'un emploi contraire aux
réglementations nationales spécifiques.
Les pompes de la série Turbo-V2000 ICE sont des pompes
turbomoléculaires conçues pour des applications de vide
poussé et ultrapoussé, et elles sont appropriées pour le
pompage de n'importe quel type de gaz ou de composé
gazeux. Elles ne sont pas indiquées pour le pompage de
liquides ou de particules solides.
L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à
vitesse élevée (33000 tr/min maxi), actionnée par un moteur
électrique triphasé à haut rendement. Les pompes Turbo-
V2000 ICE sont totalement exemptes d'agents polluants et sont
par conséquent indiquées pour des applications exigeant un
vide "propre".
Les paragraphes suivants donnent toutes les indications
nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant
l'utilisation de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés
se trouvent dans l'appendice "Technical Information".
Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:
,
DANGER!
Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur
sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle
n'est pas effectuée correctement, risque de provoquer de
graves lésions.
ATTENTION !
Les messages d'attention apparaissent avant certaines
procédures qui, si elles ne sont pas observées, pourraient
endommager sérieusement l'appareillage.
NOTA
Les notes contiennent des renseignements importants,
isolés du texte.
EMMAGASINAGE
Pendant le transport et l'emmagasinage des pompes, il
faudra veiller à respecter les conditions environnementales
suivantes:
- température: de - 20°C - à + 70°C
- humidité relative 0 - 95 % (non condensante)
Si le temps d'emmagasinage est très long, mettre la pompe
en marche en mode SOFT START (voir la notice du
contrôleur).
PRÉPARATION POUR L'INSTALLATION
La pompe est fournie dans un emballage de protection spécial;
si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être
produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de
vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage,
veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber la pompe et
à ne lui faire subir aucun choc ni aucune vibration.
Ne pas disperser l'emballage dans la nature. Le matériel est
entièrement recyclable et il est conforme à la directive CEE
85/399 en matière de protection de l'environnement.
ATTENTION !
En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas
toucher, les mains nues, les éléments devant être exposés
au vide. Mettre toujours des gants ou toute autre protection
appropriée.
NOTE
La pompe ne peut être endommagée en restant simplement
exposée à l'atmosphère. Il est de toute façon conseillé de la
garder enfermée jusqu'au moment de l'installation, afin d'éviter
toute pollution due à la poussière.
INSTALLATION
,
DANGER!
Compte tenu de son poids, la pompe doit toujours être maniée
à l'aide d'appareils de levage et de manutention spéciaux. Si
nécessaire, utiliser les anneaux de levage après les avoir
préalablement vissés dans les orifices filetés M8 pratiqués sur
le corps de la pompe.
Assurez-vous que la pompe est adaptée à l'application à
laquelle vous la destinez. La pompe a été conçue pour être
utilisée dans des systèmes de pompage pour PVD ou d'une
façon plus générale pour des applications impliquant un vide
"propre". Pour toute autre application, veuillez contacter Var-
ian Vacuum Technologies ou votre fournisseur habituel.
Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux
exposés à des agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à des
poussières, à des gaz de combat ainsi que dans des milieux
explosifs ou à risque élevé d'incendie.
ATTENTION!
Ne retirer le ruban adhesiv et le couvercle de protection
qu’au moment du branchement de la turbopompe au
systéme.
MODE D’EMPLOI
6 87-900-915-01(E)
Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les
conditions environnementales suivantes:
- pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique
- température: de +5°C° à +35°C
- humidité relative: 0 - 95% (non condensante)
En présence de champs magnétiques, la pompe doit être
protégée par des écrans appropriés. Pour tous autres détails,
se reporter à l'appendice "Technical Information".
Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V2000 ICE ne
doivent être utilisées qu'avec l'un des contrôleurs spéciaux
Varian (série 969-9448, 969-9449) et elles doivent être
connectées à une pompe primaire (voir schéma dans
"Technical Information").
La turbopompe peut être installée dans n'importe quelle
position.
Si elle est fixée en position horizontale, vérifier que le
contrôleur soit prévu pour “opérer en position horizontale.
Fixer la turbopompe dans une position stable, en reliant la bride
d'entrée de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant
supporter un couple de 20000 Nm autour de son axe. La
turbopompe à bride d'entrée ISO doit être fixée à la chambre à
vide à l'aide de colliers doubles ou simples. Le tableau suivant
décrit, pour chaque dimension de bride et pour chaque type de
collier, le nombre de colliers nécessaires ainsi que le couple de
serrage prescrit.
BRIDE TYPE DE
COLLIER
N. COUPLE DE
SERRAGE
ISO K 250 Collier double à
filetage M10
12 22 Nm
Collier simple à
filetage M10
12 22Nm
La turbopompe avec bride d’admission ISO F 250 (bolted) doit
être fixée sur la chambre à vide à l’aide de 12 boulons M10.
La turbopompe à bride d'entrée Conflat doit être fixée à la
chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Varian
prévus à cet effet. Pour tous autres détails, se reporter à
l'appendice "Technical Information".
Pour l'installation des accessoires en option, voir "Technical
Information".
UTILISATION
Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la
turbopompe sont contenues dans la notice de l'unité de
contrôle. Il est conseillé de lire attentivement cette notice avant
d'utiliser la pompe. Pour atteindre de meilleures pressions
limite, il est possible de chauffer le carter de la pompe à l'aide
du réchauffeur optionnel. Pendant le chauffage éventuel de la
chambre du vide, la température de la bride d'entrée et celle du
rotor ne doivent pas dépasser 120°C. Utiliser toujours le
refroidissement par eau pendant les opérations de chauffage.
,
DANGER!
Éviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires
éventuels pendant les opérations de chauffage. La température
élevée peut causer des lésions aux personnes.
ATTENTION !
Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du
gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression
d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure
à 2 bar au-delà de la pression atmosphérique.
ATTENTION !
Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation
ou déplacement brusque car les paliers pourraient se
détériorer.
ATTENTION !
Pour le pompage de gaz de combat, ces pompes sont dotées
d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de
fournir à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour
protéger les coussinets (voir l'appendice "Technical
Information").
,
DANGER!
Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz
toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures
typiques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence
de gaz explosifs.
ENTRETIEN
Les pompes de la série Turbo-V2000 ICE n'exigent aucun autre
entretien. Toute opération doit être effectuée par un personnel
agréé.
,
DANGER!
Avant de procéder à toute opération sur la turbopompe,
débrancher le connecteur, refouler l'air de la pompe en ouvrant
la soupape prévue à cet effet et attendre jusqu'à l'arrêt complet
du rotor et jusqu'à ce que la température superficielle de la
pompe soit inférieure à 50°C.
En cas de panne, il est possible de s'adresser au service
réparations Varian ou bien au "Varian advanced exchange
service" qui permet d'obtenir une pompe régénérée à la place
de la pompe endommagée.
NOTE
Avant de renvoyer au constructeur une pompe pour des
réparations ou un "advanced exchange service", remplir et faire
parvenir au bureau local Varian la fiche "Sécurité et Santé"
annexée à la présente notice d'instructions. Une copie de cette
fiche devra être mise dans l'emballage de la pompe avant
l'expédition.
En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son
élimination conformément aux réglementations nationales en la
matière.
,
DANGER!
Pour éviter tout risque de lésion aux personnes, ne jamais
introduire, sous aucun prétexte, ni les doigts ni aucun objet
dans la bouche de la turbopompe. Il est conseillé d’utiliser
le filet de protection fourni en option. En cas d’utilisation
d’un amortisseur de vibrations ou d’un soufflet métallique
flexible sur la bouche d’entrée, toujours bien fixer la
turbopompe à sa base.
NON!
INSTRUCCIONES DE USO
7 87-900-915-01(E)
INFORMACIÓN GENERAL
Este equipo se ha concebido para un uso profesional. El
usuario deberá leer atentamente el presente manual de
instrucciones y cualquier otra información suplementaria
facilitada por Varian antes de utilizar el equipo. Varian se
considera libre de cualquier responsabilidad debida al
incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso poco
apropiado por parte de personal sin adiestrar, a las
intervenciones no autorizadas o al uso que no cumpla con las
normas nacionales específicas.
Las bombas de la serie Turbo-V2000 ICE son bombas
turbomoleculares para aplicaciones de vacío alto y ultra alto y
pueden bombear cualquier tipo de gas o de compuesto
gaseoso. No son apropiadas para bombear líquidos o
partículas sólidas.
El efecto de bombeo se obtiene a través de una turbina que
gira a gran velocidad (33000 r.p.m. máx.) movida por un motor
eléctrico trifásico de grandes prestaciones. En las bombas
Turbo-V2000 ICE no hay agentes contaminantes y, por lo
tanto, son apropiadas incluso para las aplicaciones que
necesitan un vacío "limpio".
En los párrafos siguientes se indica toda la información
necesaria para garantizar la seguridad del operador durante el
uso del equipo. Una información más detallada se facilita en el
Suplemento "Technical Information".
Este manual utiliza los símbolos convencionales
siguientes:
,
¡PELIGRO!
Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre
un procedimiento o una operación específica que, al no
realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones
personales.
¡ATENCIÓN!
Los mensajes de atención se visualizan antes de
procedimientos que, al no respetarse, podrían provocar daños
al equipo.
NOTA
Las notas contienen información importante extraída del texto.
ALMACENAMIENTO
Durante el transporte y el almacenamiento de las bombas se
deberá cumplir con las condiciones ambientales siguientes:
- temperatura: de -20°C a +70°C
- humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora)
Si el periodo de almacenamiento es muy largo, poner en
marcha la bomba en modalidad SOFT START (véase el
manual de la unidad de control).
PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN
La bomba se suministra en un embalaje de protección
dimensional; si se observan señales de daños, que podrían
haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto
con la oficina de venta más cercana.
Durante la operación de desembalaje, prestar una atención
especial a no dejar caer la bomba ni someterla a golpes.
No dispersar el embalaje en el medio ambiente. El material es
totalmente reciclable y se ajusta a la directiva CEE 85/399 para
la preservación del medio ambiente.
¡ATENCIÓN!
Para evitar la degasificación, no tocar con las manos sin
guantes los componentes destinados a someterse al vacío.
Utilizar siempre los guantes u otra protección apropiada.
NOTA
La bomba no se puede dañar sólo por quedar expuesta a la
atmósfera. De todas formas, se aconseja mantenerla cerrada
hasta el momento de la instalación en el sistema para evitar
una posible contaminación debida al polvo.
INSTALACIÓN
,
¡PELIGRO!
La bomba, a causa de su peso, ha de manejarse mediante
herramientas de levantamiento y desplazamiento específicas.
Para este fin se utilizan las respectivas armellas, que deben
ser atornilladas en los agujeros roscados M8 presentes en la
cubierta de la bomba.
Verificar que la bomba sea adecuada para el uso que de ella
se desea hacer. La bomba ha sido proyectada para empleo en
sistemas de bombeo para PVD o para aplicaciones en las que
generalmente se requiere un vacío “limpio”. Respecto de otras
aplicaciones sírvase contactar con Varian Vacuum
Technologies o con su proveedor.
No instalar ni utilizar la bomba en ambientes expuestos a
agentes atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases
agresivos, en ambientes explosivos o con alto riesgo de
incendio.
¡ATENCIÓN!
Eliminar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en
el momento en que se conecte la turbobomba al sistema.
INSTRUCCIONES DE USO
8 87-900-915-01(E)
Durante el funcionamiento es preciso que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:
- presión máxima: 2 bar por encima de la presión
atmosférica
- temperatura: de +5°C a + 35°C
- humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora).
Cuando hay campos electromagnéticos la bomba ha de
protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el apéndice
“Technical Information” para más detalles.
Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V2000 ICE se
deberán utilizar sólo con uno de los controladores apropiados
Varian (serie 969-9448, 969-9449) y se deberán acoplar a una
bomba primaria (véase esquema en "Technical Information".
La turbobomba se puede instalar en cualquier posición.
En caso de instalarla en posición horizontal se deberá verificar
que el controlador quede predispuesto para “operaciones en
posición horizontal”.
Fijar la turbobomba en posición estable acoplando la brida de
entrada de la turbobomba a una falsa brida fija que pueda
soportar un par de 20000 Nm alrededor de su eje
La turbobomba con brida de entrada ISO ha de fijarse a la
cámara de vacío mediante mordazas dobles o sencillas. La
tabla siguiente describe, para cualquier dimensión de la brida y
tipo de mordaza, el número de mordazas necesarias y a que
par de apriete apretarlas.
BRIDA TIPO DE
MORDAZA
Nº PAR DE
APRIETE
ISO K 250 Mordaza doble con
roscado M10
12 22 Nm
Mordaza sencilla con
roscado M10
12 22 Nm
La turbobomba con brida de entrada ISO F 250 (bolted) debe
ser fijada a la cámara de vacío mediante doce pernos M10.
La turbobomba con brida de entrada ConFiat ha de fijarse a la
cámara de vacío mediante accesorios mecánicos Varian. Para
más detalles véase el apéndice “Technical Information”.
Para la instalación de los opcionales, véase “Technical
Information”.
UTILIZACIÓN
Todas las instrucciones para el funcionamiento correcto de la
turbobomba se encuentran en el manual de la unidad de
control. Leer atentamente dicho manual antes de utilizarla.
Para obtener mejores presiones límite, se puede calentar la
envoltura de la bomba utilizando el calentador opcional.
Durante el eventual calentamiento de la cámara de vacío, la
temperatura de la brida de entrada y del rotor no debe superar
nunca 120 ºC. Utilizar siempre la refrigeración por agua
durante las operaciones de calentamiento.
,
¡PELIGRO!
No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante
las operaciones de calentamiento. La alta temperatura
puede provocar lesiones a las personas.
¡ATENCIÓN!
Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin
polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta
apropiada deberá ser inferior a 2 bar por encima de la presión
atmosférica.
¡ATENCIÓN!
Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la
turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían
dañarse.
¡ATENCIÓN!
Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas
de una puerta específica mediante la cual es necesario
suministrar a la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o
Argón) para proteger los rodamientos (véase el apéndice
“Technical Information”).
,
¡PELIGRO!
Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,
inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos
apropiados típicos de cada gas.
No usar la bomba cuando haya gases explosivos.
MANTENIMIENTO
Las bombas de la serie Turbo-V2000 ICE no necesitan ningún
mantenimiento. Cualquier intervención deberá ser realizada por
personal autorizado.
,
¡PELIGRO!
Antes de realizar cualquier intervención en la turbobomba,
desempalmar el conector de alimentación, enviar aire a la
bomba abriendo la válvula apropiada y esperar hasta que el
rotor se pare completamente y esperar a que la bomba esté
por debajo de 50 ºC.
En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación
Varian o el "Varian advanced exchange service", que permite
obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada.
NOTA
Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparación o
"advanced exchange service", es imprescindible cumplimentar
y remitir a la oficina de Ventas más cercana la ficha de
"Seguridad y Salud" adjunta al presente manual de
instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en el
embalaje de la bomba antes de enviarla.
En caso de que la bomba se tenga que desguazar, efectuar su
eliminación respetando las normas nacionales específicas.
,
¡PELIGRO!
Para evitar lesiones a la persona, no introducir nunca,
por ningún motivo, los dedos u objetos en la boca de
entrada de la turbobomba. Se aconseja utilizar la
redecilla de protección (opcional). Si se utiliza un
amortiguador de vibraciones o un fuelle metálico flexible
en la boca de entrada, fijar siempre la turbobomba a la
base.
NO!
INSTRUÇÕES PARA O USO
9 87-900-915-01(E)
INFORMAÇÕES GERAIS
Esta aparelhagem destina-se ao uso profissional. O utilizador
deve ler atentamente o presente manual de instruções e
qualquer outra informação adicional fornecida pela Varian
antes de usar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza
pela eventual inobservância total ou parcial das instruções,
pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por
operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas
nacionais específicas.
As bombas da série Turbo-V2000 ICE são bombas
turbomoleculares para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, e
são capazes de bombear qualquer tipo de gás ou de composto
gasoso. Não são adequadas para bombear líquidos ou
partículas sólidas.
O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de
alta velocidade (33000 r.p.m. máx.) movida por um motor
eléctrico de três fases de alto rendimento. As bombas Turbo-
V2000 ICE são totalmente sem agentes contaminadores e,
portanto, são adequadas para aplicações que requerem um
vácuo "limpo".
Nos parágrafos seguintes estão descritas todas as informações
necessárias para garantir a segurança do técnico durante o
uso da aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas
no apêndice "Technical Information".
Este manual utiliza as seguintes convenções:
,
PERIGO!
As mensagens de perigo chamam a atenção do técnico para
um procedimento ou uma prática específica que, se não
efectuada correctamente, poderia provocar graves lesões
pessoais.
ATENÇÃO!
As mensagens de atenção são visualizadas antes de
procedimentos que, se não observados, poderiam causar
danos à aparelhagem.
NOTA
As notas contêm informações importantes destacadas do texto.
ARMAZENAGEM
Durante o transporte e a armazenagem das bombas não
devem ser superadas as seguintes condições ambientais:
- temperatura: de -20ºC a +70ºC
- humidade relativa: 0 - 95% (não condensante)
Se o tempo de armazenagem for muito longo, accionar a
bomba em SOFT START (ver manual da unidade de controlo).
PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO
A bomba é fornecida numa embalagem protectora especial; se
apresentarem sinais de danos, que poderiam verificar-se
durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de
vendas local.
Durante a retirada da embalagem, tomar muito cuidado para
não deixar cair a bomba e não submetê-la a colisões ou
vibrações.
Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é
completamente reciclável e responde às normas CEE 85/399
para a protecção do meio ambiente.
ATENÇÃO!
Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as
mãos os componentes destinados à exposição do vácuo.
Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada.
NOTA
A bomba não pode ser danificada permanecendo
simplesmente exposta à atmosfera. Aconselha-se, no entanto,
mantê-la fechada até o momento da instalação no sistema para
evitar que se suje com poeiras.
INSTALAÇÃO
,
PERIGO!
A bomba, devido ao seu peso, deve ser manejada utilizando
ferramentas específicas de levantamento e deslocamento. Se
for preciso, utilizar os pinos de olhal a aparafusar nos furos
com rosca M8 posicionados na embalagem da bomba.
Assegure-se de que a bomba é idónea para o tipo de aplicação
desejado. A bomba foi concebida para o uso em sistema de
bombeamento para PVD ou, em geral, para aplicações que
necessitam de vácuo “limpo”. Para quaisquer outros tipos de
aplicação, contacte a Varian Vacuum Technologies ou o seu
fornecedor de confiança.
Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a
agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases
agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou
com elevado risco de incêndio.
ATENÇÃO!
Remover o adesivo e retirar o tampão de protecção só no
momento da ligação da turbobomba ao sistema.
INSTRUÇÕES PARA O USO
10 87-900-915-01(E)
Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas
as seguintes condições ambientais:
- pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica
- temperatura: de + 5ºC a + 35ºC
- humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).
Existindo campos magnéticos, a bomba deve ser protegida
com blindagens adequadas. Ver o apêndice "Technical
Information" para maiores detalhes.
As bombas turbomoleculares da série Turbo-V2000 ICE devem
ser utilizadas somente com um dos controladores Varian
específicos (série 969-9448, 969-9449) e devem ser ligadas a
uma bomba primária (ver esquema em "Technical
Information").
A turbobomba pode ser instalada em qualquer posição.
Quando colocada em posição horizontal, assegurar-se de que
o controller seja programado para “operação em posição
horizontal”.
Fixar a turbobomba em posição estável ligando a flange de
entrada da turbobomba a uma contraflange fixa capaz de
resistir a um torque de 20000 Nm ao redor do próprio eixo.
A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada à
câmara de vácuo através de bornes duplos ou simples. A
tabela a seguir descreve, para cada dimensão de flange e tipo
de borne, o número de bornes e o torque de aperto
necessários.
FLANGE TIPO DE BORNE N° TORQUE DE
APERTO
ISO K 250 Borne duplo com rosca
M10
12
22 Nm
Borne simples com
rosca M10
12 22 Nm
A turbo-bomba com flange de entrada ISO F 250 (bolted) deve
ser fixada à câmara de vácuo utilizando 12 parafusos M10.
A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada à
câmara de vácuo através de parafusos específicos da
mecânica Varian. Para maiores detalhes, ver o apêndice
"Technical Information".
Para a instalação dos acessórios opcionais, ver "Technical
Information”.
UTILIZAÇÃO
Todas as instruções para o correcto funcionamento da
turbobomba estão contidas no manual da unidade de controlo.
Ler atentamente este manual antes da utilização.
Para atingir melhores pressões limite é possível aquecer o
invólucro da bomba utilizando o aquecedor opcional. Durante a
fase de aquecimento da câmara de vácuo, a temperatura da
flange de entrada e do rotor não deve ultrapassar 120 °C.
Utilizar sempre o resfriamento com água durante as operações
de aquecimento.
,
PERIGO!
Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios
durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura
pode causar lesões às pessoas.
ATENÇÃO!
Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem
poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta
específica deve ser inferior a 2 bar (além da pressão
atmosférica).
ATENÇÃO!
Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da
turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam
sofrer danos.
ATENÇÃO!
Para bombear gases agressivos, estas bombas estão
equipadas com uma porta específica através da qual é
necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou
Argon) para proteger os rolamentos (ver o apêndice "Technical
Information").
,
PERIGO!
Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos,
inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos
adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na
presença de gases explosivos.
MANUTENÇÃO
As bombas da série Turbo-V2000 ICE não requerem qualquer
manutenção. Qualquer operação deve ser efectuada por
pessoal autorizado.
,
PERIGO!
Antes de efectuar qualquer operação na turbobomba desligar o
conector de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a
válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e
até que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC.
Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de reparação
Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite
obter uma bomba regenerada que substitua a bomba com
defeito.
NOTA
Antes de enviar ao construtor uma bomba para reparações ou
advanced exchange service, é indispensável preencher e
enviar ao escritório local de vendas a ficha "Segurança e
Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da
mesma deve ser colocada na embalagem da bomba antes da
expedição.
Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua
eliminação respeitando as normas nacionais específicas.
,
PERIGO!
Para evitar lesões à pessoa nunca colocar, por qualquer
motivo, os dedos ou objectos no bocal de entrada da
turbobomba. Aconselha-se o uso da rede de protecção
(opcional). Se é utilizado um amortecedor de vibrações ou
um respirador metálico flexível no bocal de entrada, fixar
sempre a turbobomba à base.
NÃO!
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
11 87-900-915-01(E)
ALGEMENE INFORMATIE
Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De
gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle
overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens
het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet
aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in
acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik
door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor
geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de
specifieke nationale wetgeving.
De pompen van de serie Turbo-V2000 ICE zijn
turbomoleculaire pompen voor hoge en ultrahoge
vacuümtoepassingen, die in staat zijn om elk type gas of
gasverbinding te pompen. Ze zijn niet geschikt voor het
pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes.
Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende
turbine (max. 33000 toeren/min.) die aangedreven wordt door
een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De
Turbo-V2000 ICE pompen zijn volledig vrij van
verontreinigingen en zijn dus ook geschikt voor toepassingen
die een "schoon" vacuüm verlangen.
In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de
veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur
te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te vinden in de
bijlage "Technical information".
Deze handleiding gebruikt de volgende symbolen:
,
GEVAAR!
Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator
vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet
correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.
ATTENTIE!
Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet
opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken.
OPMERKING
De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst
is gelicht.
OPSLAG
Tijdens het transport en de opslag van de pompen moeten de
volgende omgevingscondities aanwezig zijn:
- temperatuur: van -20°C tot +70°C
- relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend)
Als de opslagperiode van lange duur is, de pomp met de SOFT
START wijze opstarten (zie handleiding regeleenheid).
UITPAKKEN
De pomp wordt in een speciale beschermende verpakking
geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het
transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact
opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor.
Zorg er bij het uitpakken voor dat de pomp niet kan vallen
of stoten te verduren krijgt.
Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het
verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan
de EEG milieurichtlijn 85/399.
ATTENTIE!
Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de
componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet
met de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd
handschoenen of een andere geschikte bescherming.
OPMERKING
De pomp kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan
de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden
om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het
systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof
wordt voorkomen.
INSTALLATIE
,
GEVAAR!
De pomp moet, in verband met haar gewicht, met speciale hef-
en vervoerswerktuigen verplaatst worden.
Gebruik voor dit doel de specifieke hijsogen die in de M8
schroefdraadopeningen in het pompomhulsel geschroefd
moeten worden.
Controleer of de pomp geschikt voor de eigen toepassing is. De
pomp is ontworpen voor gebruik binnen PVD pompsystemen of
in het algemeen voor toepassingen waarvoor een “schoon”
vacuüm is vereist. Neem contact op met Varian Vacuum Tech-
nologies of uw leverancier voor andere toepassingen.
ATTENTIE!
Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem
wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop
verwijderd worden.
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
12 87-900-915-01(E)
De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in
ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden
(regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten
met explosiegevaar of zeer hoog brandgevaar.
Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities
aanwezig zijn:
- max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk
- temperatuur: van +5°C tot +35°C
- relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend).
Bij aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op
passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical
Information” voor meer informatie.
De turbomoleculaire pompen van de serie V2000 ICE mogen
alleen gebruikt worden in combinatie met een van de speciale
Varian controllers (serie 969-9448, 969-9449) en moeten
aangesloten zijn op een primaire pomp (zie schema in
"Technical information").
De turbopomp kan in alle standen worden geïnstalleerd.
Controleer, indien de controller in horizontale positie is
bevestigd, of deze ook is ingesteld voor "werking in horizontale
positie".
Bevestig de turbopomp in een stabiele positie en verbind de
inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een
koppel van 20000 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer
worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige
klemmen. De volgende tabel beschrijft, voor elke maat flens of
klemtype, het aantal benodigde klemmen en het aanhaalkoppel
waarmee ze vastgezet moeten worden.
FLENS KLEMTYPE NR. AANHAAL-
KOPPEL
ISO K 250 Dubbele klem met M10
schroefdraad
12 22 Nm
Enkelvoudige klem met
M10 schroefdraad
12 22 Nm
De turbopomp met ISO F250 (geboute) inlaatflens moet aan de
vacuümkamer worden bevestigd met behulp van 12 M10
bouten.
De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de
vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale
mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer
informatie de bijlage "Technical information".
Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires
die als optie verkrijgbaar zijn.
GEBRUIK
Alle aanwijzingen voor de correcte werking van de turbopomp
zijn in de handleiding van de regeleenheid vermeld. Lees
aandachtig deze handleiding vóór ingebruikname door.
Om een betere grensdruk te bereiken, kan het pomphuis
verwarmd worden met behulp van een optionele
verwarmingsunit. Tijdens het eventuele verwarmen van de
vacuümkamer, mag de temperatuur van de ingangsflens en de
rotor niet meer dan 120 °C bedragen. Pas tijdens het
verwarmen altijd waterkoeling toe.
,
GEVAAR!
Raak de pomp en eventuele accessoires niet tijdens het
verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel
veroorzaken.
ATTENTIE!
Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas
zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor
bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de
atmsoferische druk) bedragen.
ATTENTIE!
Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de
turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen
anders beschadigd raken.
ATTENTIE!
Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van
een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een stroom
inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers krijgt
geleverd (zie bijlage “Technical Information").
,
GEVAAR!
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van
brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de
procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn
opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van
explosieve gassen.
ONDERHOUD
De pompen van de serie Turbo-V2000 ICE zijn onderhoudsvrij.
Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel
worden uitgevoerd.
,
GEVAAR!
Alvorens werkzaamheden aan de turbopomp uit te voeren, de
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig
stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een
temperatuur van 50 °C is gezakt .
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van
Varian of de "Varian advanced exchange service" in te
schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de
defecte pomp.
OPMERKING
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te
sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid
en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke
verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart
moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden
gevoegd.
Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de
specifieke nationale wetgeving te werk.
,
GEVAAR!
Om persoonlijk letsel te voorkomen mogen nooit, om geen
enkele reden, de vingers of voorwerpen in de inlaatopening
van de turbopomp worden gestoken. Men raadt gebruik
van het beschermgaasje aan (optional). Als een
trillingdemper of een metalen flexibel balgje op de
inlaatopening wordt aangebracht, de turbopomp altijd aan
de basis bevestigen.
NEE!
BRUGSANVISNING
13 87-900-915-01(E)
GENEREL INFORMATION
Dette materiel er beregnet til professionel anvendelse.
Brugeren bedes læse denne håndbog samt enhver yderligere
vejledning, Varian har leveret, inden udstyret tages i brug.
Varian er ikke ansvarlig, hvis vejledningen ikke er nøje fulgt,
eller hvis den kun er delvist fulgt, og heller ikke hvis udstyret
anvendes forkert af ukvalificeret personale, hvis der foretages
uautoriserede indgreb på det, eller hvis udstyret benyttes på en
måde, der står i kontrast til det pågældende lands særlige
normer.
Turbo-V2000 ICE serien omfatter turbomolekulære pumper til
højvakuum og til ultra-højvakuum. Pumperne er i stand til at
pumpe alle typer luftarter og luftforeninger. Denne serie er ikke
egnet til at pumpe væsker eller faste partikler.
Pumpeeffekten opnås ved hjælp af en turbine, der roterer ved
høj hastighed (max. 33000 omdr./min.) drevet af en højeffektiv
trefaset elektrisk motor. Turbo-V2000 ICE pumperne er
fuldstændig fri for forurenende stoffer og finder derfor god
anvendelse, når der kræves et "rent" vakuum.
I det følgende gives alle nødvendige oplysninger for
operatørens sikkerhed under brug af udstyret. For detaljerede
oplysninger henvises til den vedlagte "Technical Information ".
I denne håndbog findes følgende regler:
,
ADVARSEL!
Advarslerne henkalder operatørens opmærksomhed på et
indgreb eller en særlig handling, der kan forårsage alvorlig fare
for kvæstelser, hvis den ikke udføres korrekt.
VIGTIGT !
Disse ord forekommer inden en arbejdsmetode, der skal
overholdes for ikke at skabe risiko for skade på udstyret.
BEMÆRK
Bemærkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger.
OPLAGRING
Under transport og oplagring af pumperne skal følgende
omgivelsesbetingelser være overholdt:
- temperatur: fra -20°C til +70°C
- relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende)
Hvis pumperne oplagres gennem lang tid, skal de sættes i gang
på den såkaldte 'SOFT START' måde (se håndbogen til
kontrolenheden).
FORBEREDELSE TIL MONTERING
Pumpen leveres med en særlig beskyttelsesemballage. Kontakt
vores lokale salgskontor, hvis der findes tegn på beskadigelse,
der kan være sket under transporten.
Pas på at pumpen ikke falder på gulvet og at der ikke stødes til
den under udpakningen.
Smid ikke emballagen væk ude i naturen. Al emballage er
genbrugsmateriale i overensstemmelse med direktivet
85/399/EØF vedrørende miljøbeskyttelse.
VIGTIGT !
For at undgå afgasningsproblemer skal man ikke røre med de
bare hænder de dele, der vil bliver udsat for vakuum. Brug altid
handsker eller anden passende beskyttelse.
BEMÆRK
Pumpen kan ikke beskadiges ved blot at være udsat for den
atmosfæriske luft. For at undgå forurening fra støv anbefales
det dog, at pumpen holdes tilpakket, indtil den monteres i
anlægget.
MONTERING
,
ADVARSEL!
Grundet dens vægt må pumpen kun håndteres ved hjælp af
dertil bestemt løfte- og flytningsudstyr. I forbindelse med løft
anvendes øjeboltene, der fastspændes i de gevindskårne huller
M8 på pumpens beklædning.
Kontrollér, at pumpen er egnet til den konkrete brug. Pumpen
er projekteret til brug i pumpesystemer til PVD eller generelt til
anvendelse, der kræver et "rent" vakuum. Kontakt Varian Vac-
uum Technologies eller forhandleren, hvis pumpen skal benyt-
tes til andre former for brug.
VIGTIGT !
Tapen og beskyttelsesproppen må først fjernes, når
turbopumpen sluttes til systemet.
BRUGSANVISNING
14 87-900-915-01(E)
Pumpen må ikke installeres eller bruges i omgivelser, der
udsætter den for forvitring (regn, frost, sne), støv, ætsende
luftarter, og heller ikke i omgivelser med eksplosionsfare eller
stor brandfare.
Følgende betingelser skal overholdes under driften:
- maksimaltryk: 2 bar (over atmosfærisk tryk)
- temperatur: fra +5°C til +35°C
- relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende).
Hvis der findes magnetfelter må pumpen afskærmes. Se bilag
“Technical Information” for yderligere detaljer.
Turbomolekulærpumperne i Turbo-V2000 ICE serien må kun
anvendes med en af de særlige Varian kontrolapparater (serie
969-9448, 969-9449) og skal forbindes med en primær pumpe
(se skemaet i "Technical Information").
Turbopumpen kan monteres i hvilken som helst stilling.
Hvis pumpen skal placeres vandret, skal det kontrolleres, at
styreenheden er indstillet til “drift i vandret position”.
Den fastspændes ved, at turbopumpens indgangsflange
fastgøres til en fast modflange, der er i stand til at modstå et
drejningsmoment på 20000 Nm omkring aksen.
Turbopumperne med ISO indløbsflange skal fastspændes til
vakuumkammeret med dobbelte eller enkelte klemmer.
Følgende tabel angiver det nødvendige antal af klemmer og det
anvendte tilspændingsmoment for de enkelte
flangedimensioner og typer af klemmer.
FLANGE KLEMMETYPE ANT. DREJNINGS-
MOMENT
ISO K 250 Dobbelt klemme,
gevind M10
12 22 Nm
Enkelt klemme,
gevind M10
12 22 Nm
Turbopumpen med ISO F 250 indgangsflange (fastboltet) skal
fastgøres til vakuumkammeret ved hjælp af 12 M10 bolte.
Turbopumpen med indløbsflange ConFlat skal fastspændes til
vakuumkammeret ved hjælp af de specielle fastgørelsesdele
fra Varian. For detaljer henvises til ”Technical Information”.
Se "Technical Information" for montering af optionals.
ANVENDELSE
Al vejledning angående turbopumpens korrekte drift er
beskrevet i håndbogen til kontrolenheden.
Læs den nævnte håndbog omhyggeligt før brugen.
For at opnå bedre grænsetryk kan pumpebeklædningen
opvarmes. I forbindelse med eventuel opvarmning af
vakuumkammeret må temperaturen for indgangsflangen og
rotoren ikke overskride 120° C. Brug altid vandafkøling under
opvarmningen.
,
ADVARSEL!
Rør ikke ved turbopumpen eller eventuelt tilbehør under
opvarmningsmanøvrerne. Den høje temperatur kan forårsage
kvæstelser på personer.
VIGTIGT!
Til pumpens luftafløb anvendes luft eller en inaktiv luftart, der er
fri for støv og partikler. Indgangstrykket gennem den særlige
åbning skal være under 2 bar.
VIGTIGT!
Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i
forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for
beskadigelse af lejerne.
VIGTIGT!
Til pumpning af ætsende luftarter er disse pumper forsynet med
en særlig åbning, hvortil den passive luftart (argon eller
kvælstof) skal sluttes for at beskytte lejerne (se bilaget
“Technical Information”).
,
ADVARSEL!
Når pumpen anvendes til pumpning af giftige, brandfarlige eller
radioaktive gasser, skal de gældende forskrifter for den enkelte
gastype strengt overholdes.
Pumpen må ikke anvendes i eksplosionsfarlige miljøer.
VEDLIGEHOLDELSE
Pumperne af Turbo-V2000 ICE typen behøver ikke nogen
vedligeholdelse. Ethvert indgreb på pumpen skal foretages af
autoriseret personale.
,
ADVARSEL!
Inden der foretages noget som helst indgreb på turbopumpen,
skal strømmen først afbrydes og luften lukkes ud af pumpen
ved, at man åbner den særlige ventil og venter indtil rotoren er
standset helt, og pumpens overfladetemperatur er lavere end
50°C.
Hvis pumpen går i stykker, kan man benytte sig af Varians
reparationsservice eller af Varians "Advanced Exchange
Service", hvorved man kan få en repareret pumpe i bytte for
den, der er gået i stykker.
BEMÆRK
Inden pumpen sendes tilbage til fabrikanten til reparation eller
til "Advanced Exchange Service", skal man udfylde formularen
"Sikkerhed og Helbred" vedlagt denne håndbog og tilsende den
til den lokale forhandler. En kopi af formularen skal vedlægges i
pakken med pumpen ved tilbagesendelsen.
Hvis en pumpe skal skrottes, skal dette foregå i
overensstemmelse med det pågældende lands særlige love.
,
ADVARSEL!
For at undgå personskader må fingre eller andre genstande
aldrig indsættes i turbopumpens indløbsdysen. Det
anbefales at anvende beskyttelsesnettet (optional). Såfremt
der anvendes en befugter eller en blæsebælg af metal på
indløbsdysen, skal turbopumpen altid fastgøres til basen.
NEJ!
BRUKSANVISNING
15 87-900-915-01(E)
ALLMÄN INFORMATION
Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning.
Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig
dokumentation från Varian före användning av utrustningen.
Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av
åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av
person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen
eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Pumparna i Turbo-V2000 ICE-serien är turbomolekylära
pumpar för höga och mycket höga vakuumtillämpningar. De
kan användas för pumpning av alla typer av gas eller
gasföreningar. De lämpar sig inte för pumpning av vätskor eller
fasta partiklar.
Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max
33000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektsmotor. Inga
tillsatsämnen används i Turbo-V2000 ICE -seriens pumpar,
som därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent"
vakuum.
De följande avsnitten innehåller all information som behövs för
att garantera operatörens säkerhet under användningen.
Detaljerade uppgifter finns i bilagan " Technical information".
I bruksanvisningen används följande standardrubriker:
,
VARNING!
Varningsmeddelandena informerar operatören om att en
speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt
enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra
personskador.
VIKTIGT !
Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste
följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå.
OBSERVERA
Detta visar på viktig information i texten.
FÖRVARING
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid transport
och förvaring av pumpen:
- temperatur: från -20°C till +70°C
- relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens)
Efter lång förvaring skall pumpen startas med MJUKSTART -
metoden (se bruksanvisningen för styrenheten).
FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN
Pumpen levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta
det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på
skador som kan ha uppstått under transporten.
Se till att pumpen inte tappas eller utsätts för stötar vid
uppackningen.
Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är
återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om
miljöskydd.
VIKTIGT !
Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras
med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid
handskar eller liknande skydd.
OBSERVERA
Normal påverkan från omgivningen kan inte skada pumpen.
Trots det är det säkrast att hålla den stängd tills den har
installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm
eller annat i den.
INSTALLATION
,
VARNING!
Med tanke på pumpens vikt får den endast hanteras med hjälp
av därtill avsedda lyft- och flyttningsanordningar Skruva om det
behövs i öglebultarna i de gängade hålen M6 på pumpens
hölje.
Kontrollera att pumpen är lämplig för dess användningsområde.
Pumpen är konstruerad för användning i pumpsystem för PVD
eller vanliga användningsområden som kräver ett "rent" vakuum.
Kontakta Varian Vacuum Technologies eller din leverantör om
pumpen ska användas för andra ändamål.
Installera inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från
atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte
heller i explosiv eller brandfarlig miljö.
VIKTIGT !
Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen
ska anslutas till systemet.
La pagina si sta caricando...
La pagina si sta caricando...
La pagina si sta caricando...
La pagina si sta caricando...
La pagina si sta caricando...
La pagina si sta caricando...
La pagina si sta caricando...
La pagina si sta caricando...
La pagina si sta caricando...
La pagina si sta caricando...
La pagina si sta caricando...
La pagina si sta caricando...
La pagina si sta caricando...
La pagina si sta caricando...
La pagina si sta caricando...
La pagina si sta caricando...
La pagina si sta caricando...
La pagina si sta caricando...
La pagina si sta caricando...
La pagina si sta caricando...
La pagina si sta caricando...
La pagina si sta caricando...
La pagina si sta caricando...
La pagina si sta caricando...
  • Page 1 1
  • Page 2 2
  • Page 3 3
  • Page 4 4
  • Page 5 5
  • Page 6 6
  • Page 7 7
  • Page 8 8
  • Page 9 9
  • Page 10 10
  • Page 11 11
  • Page 12 12
  • Page 13 13
  • Page 14 14
  • Page 15 15
  • Page 16 16
  • Page 17 17
  • Page 18 18
  • Page 19 19
  • Page 20 20
  • Page 21 21
  • Page 22 22
  • Page 23 23
  • Page 24 24
  • Page 25 25
  • Page 26 26
  • Page 27 27
  • Page 28 28
  • Page 29 29
  • Page 30 30
  • Page 31 31
  • Page 32 32
  • Page 33 33
  • Page 34 34
  • Page 35 35
  • Page 36 36
  • Page 37 37
  • Page 38 38
  • Page 39 39
  • Page 40 40
  • Page 41 41
  • Page 42 42
  • Page 43 43
  • Page 44 44

Varian 969-9127 Instructions For Use Manual

969-9127
Varian
Marca
Varian
Modello
969-9127
Tipo
Instructions For Use Manual
Questo manuale è adatto anche per
Scarica PDF
rapporto

in altre lingue

Documenti correlati

Altri documenti