Varian Turbo-V 70D Manuale utente

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ISTRUZIONI PER L'USO

1 87-900-862-01(E)

INFORMAZIONI GENERALI

Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utiliz-

zatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni

ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Varian prima

dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene sollevata da

eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale

delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non adde-

strato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normati-

ve nazionali specifiche.

Le pompe della serie Turbo-V 70LP sono pompe turbomolecolari

per applicazioni di alto e ultra alto vuoto, capaci di pompare qual-

siasi tipo di gas o di composto gassoso. Non sono adatte per il

pompaggio di liquidi o di particelle solide.

L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad eleva-

ta velocità (75000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico

trifase ad alto rendimento. Le pompe Turbo-V 70LP sono total-

mente prive di agenti contaminanti, e sono quindi adatte per appli-

cazioni che richiedono un vuoto "pulito".

Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessa-

rie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo dell'ap-

parecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nell'appendice

“Technical information”.

Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:

!

PERICOLO!

I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una

procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo

corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.

!

ATTENZIONE!

I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che,

se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec-chiatura.

NOTA

Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.

IMMAGAZZINAMENTO

Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle

pompe Turbomolecolari Varian, devono essere osservate le se-

guenti prescrizioni:

• durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento

delle pompe non devono essere superate le seguenti condi-

zioni ambientali:

• temperatura: da –20 °C a 70 °C

• umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante)

• il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel

modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la

prima volta

• il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare

è di 10 mesi dalla data di spedizione.

!

ATTENZIONE!

Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superi-

ore, occorre reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione,

si prega di contattare il locale rappresentante della Varian.

PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE

La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si

presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati duran-

te il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.

Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare atten-

zione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad urti o

vibrazioni.

Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completa-

mente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela

dell'ambiente.

!

ATTENZIONE!

Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le mani

nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare

sempre i guanti o altra protezione adeguata.

NOTA

La pompa non può essere danneggiata rimanendo semplicemen-

te esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenerla

chiusa fino al momento dell'installazione sul sistema onde evitare

eventuale inquinamento da polvere.

INSTALLAZIONE

Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti

atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in am-

bienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.

Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le

seguenti condizioni ambientali:

− pressione massima: 2 bar

− temperatura: da + 5 °C a +35 °C

− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).

Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V 70LP devono esse-

re utilizzate solo con uno degli appositi controllori Varian (serie

969-9405, 969-9505, 969-9507e 969-9508) e devono essere

collegate ad una pompa primaria (vedere schema in "Technical

Information").

La turbopompa può essere installata in qualsiasi posizione. Fissa-

re la turbopompa in posizione stabile collegando la flangia di in-

gresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di

resistere ad una coppia di 200 Nm attorno al proprio asse, oppure

utilizzando l’apposito kit opzionale per il fissaggio alla base.

!

ATTENZIONE!

Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento

del collegamento della turbopompa al sistema.

ISTRUZIONI PER L'USO

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La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata

alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti singo-

li. La seguente tabella descrive, per ogni dimensione flangia e tipo

di morsetto, il numero di morsetti necessari e con quale coppia di

serraggio stringerli.

FLANGIA TIPO DI

MORSETTO

N. COPPIA DI

SERRAGGIO

ISO 63 Morsetto doppio

con filettatura M10

4 22 Nm

Morsetto singolo

con filettatura M8

4 11 Nm

La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissa-

ta alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria mecca-

nica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical

Information".

Per fissare la pompa per mezzo della sua base, è necessario

utilizzare tre viti M4 fissate agli appositi fori presenti sulla base

della pompa. Le viti utilizzate devono avere un carico di snerva-

mento di 500 N/mm

2

e devono essere fissate con una coppia di

0,9 Nm.

Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical

Information".

USO

Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopompa

sono contenute nel manuale dell'unità di controllo.

Leggere attentamente tale manuale prima dell'utilizzo.

Per raggiungere migliori pressioni limite è possibile riscaldare

l'involucro della pompa utilizzando il riscaldatore opzionale.

Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la tem-

peratura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 120

°C.

Utilizzare sempre il raffreddamento ad acqua durante le operazioni

di riscaldamento.

!

PERICOLO!

Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le

operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può causare

lesioni alle persone.

!

ATTENZIONE!

Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte

esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attraverso

l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar.

!

ATTENZIONE!

Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa

quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi.

!

ATTENZIONE!

Per il pompaggio di gas aggressivi utilizzare solo le versioni spe-

ciali della pompa Turbo - V 70LP. Tali pompe sono dotate di una

apposita porta attraverso la quale è necessario fornire alla pompa

un flusso di gas inerte compreso tra 0,4 e 1 mbar l/s.

MANUTENZIONE

Le pompe della serie Turbo-V70LP non richiedono alcuna manu-

tenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale

autorizzato.

!

PERICOLO!

Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla turbopompa scollega-

re il connettore di alimentazione, mandare all'aria la pompa apren-

do l'apposita valvola ed attendere fino al completo arresto del roto-

re ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia

inferiore a 50 °C.

In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazione

Varian o del "Varian advanced exchange service", che permette di

ottenere una pompa rigenerata in sostituzione di quella guasta.

NOTA

Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o a-

dvanced exchange service, è indispensabile compilare e far per-

venire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salute"

allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa

deve essere inserita nell'imballo della pompa prima della spedi-

zione.

Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla sua

eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche.

NO!

!

PERICOLO!

Per evitare lesioni alla persona non inserire mai, per alcun

motivo, le dita oppure oggetti nella bocca d’ingresso della

turbopompa. Si consiglia l’uso della retina di protezione (op-

zionale). Se viene utilizzato uno smorzatore di vibrazioni

oppure un soffietto metallico flessibile sulla bocca

d’ingresso, fissare sempre la turbopompa alla base.

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