Varian 969-8901 Manuale utente

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ISTRUZIONI PER L'USO

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Indicazioni di Sicurezza

per

Pompe Turbomolecolari

Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata

quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa

specifica dei loro rotori.

Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per

una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.

,

PERICOLO!

Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è

necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte

nel presente manuale!

ISTRUZIONI PER L'USO

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INFORMAZIONI GENERALI

Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utiliz-

zatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni

ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Varian prima

dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene sollevata da

eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale

delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non adde-

strato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normati-

ve nazionali specifiche.

Le pompe della serie Turbo-V 81-M sono pompe turbomoleco-

lari per applicazioni di alto e ultra alto vuoto in grado di pompa-

re qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso non corrosivo.

Non sono adatte per il pompaggio di liquidi o di particelle soli-

de.

L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad eleva-

ta velocità (80000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico

trifase ad alto rendimento. Il Turbo-V 81-M è totalmente privo di

agenti contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni che richie-

dono un vuoto "pulito".

Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni ne-

cessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo

dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nel-

l'appendice “Technical information”.

Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:

,

PERICOLO!

I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una

procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo

corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.

 ATTENZIONE!

I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure

che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec-

chiatura.

NOTA

Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal

testo.

IMMAGAZZINAMENTO

Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle

pompe Turbomolecolari Varian, devono essere osservate le se-

guenti prescrizioni:

• durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento

delle pompe non devono essere superate le seguenti con-

dizioni ambientali:

• temperatura: da –20 °C a 70 °C

• umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante)

• il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel

modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la

prima volta

• il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomoleco-

lare è di 10 mesi dalla data di spedizione.

 ATTENZIONE!

Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è

superiore, occorre reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni in-

formazione, si prega di contattare il locale rappresentante della

Varian.

PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE

La Turbo-V 81-M viene fornita in un imballo protettivo speciale;

se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verifi-

cati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.

Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare

attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad

urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'ambiente.

Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva

CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente.

 ATTENZIONE!

Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le

mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto.

Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.

NOTA

La pompa non può essere danneggiata rimanendo semplice-

mente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di mante-

nere chiusa la pompa fino al momento dell'installazione sul

sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.

INSTALLAZIONE

 ATTENZIONE!

Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al mo-

mento del collegamento della turbopompa al sistema.

Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad

agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi,

in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.

Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le

seguenti condizioni ambientali:

− pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica

− temperatura: da + 5 °C a +35 °C (vedere grafico

nell’appendice “Technical Information”)

− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).

In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere

protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Techni-

cal Information" per ulteriori dettagli.

Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V 81-M devono

essere utilizzate solo con uno degli appositi controller Varian e

devono essere collegate ad una pompa primaria (vedere lo

schema in "Technical Information").

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I controller disponibili sono i seguenti:

- Rack controller 81-AG base: 969-8988

- Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989

- Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990

- PCB 24 V 969-9538

La Turbo-V 81-M può essere installata in qualsiasi posizione. Fis-

sare la Turbo-V 81-M in posizione stabile collegando la flangia di

ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di

resistere ad una coppia di 250 Nm attorno al proprio asse.

Per esempio la flangia ISO 63 può essere fissata con morsetti

in acciaio ad alta resistenza (tipo modello Varian IC 63250

DCMZ).

La seguente tabella descrive, per ogni dimensione flangia, il

numero di morsetti necessari e con quale coppia di serraggio

stringerli.

FLANGIA TIPO DI

MORSETTO

N. COPPIA DI SER-

RAGGIO

ISO 63 Morsetto doppio

con filettatura M10

4 22 Nm

Morsetto singolo

con filettatura M8

4 11 Nm

La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata

alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria meccanica

Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical Informa-

tion".

NOTA

La Turbo-V 81-M non può essere fissata tramite la sua base.

 ATTENZIONE!

La Turbo-V 81-M appartiene alla seconda categoria di installa-

zione (o sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1.

Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione

che soddisfi tale categoria.

Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical Infor-

mation".

USO

Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopompa

sono contenute nel manuale dell'unità di controllo. Leggere atten-

tamente tale manuale prima dell'utilizzo.

Per raggiungere migliori pressioni limite è possibile riscaldare il

sistema.

Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la

temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore

a 120 °C con flangiatura ConFlat e a 80 °C con flangiatura ISO.

Usare sempre il raffreddamento ad acqua durante le operazioni

di riscaldamento.

,

PERICOLO!

Non far funzionare mai la pompa se la flangia di ingresso non è

collegata alla camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di chiu-

sura.

Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le

operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può causare

lesioni alle persone.

 ATTENZIONE!

Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa

quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi.

Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte

esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attra-

verso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la

pressione atmosferica).

Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate di

una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire alla

pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Elio) per proteggere i cu-

scinetti (vedere l'appendice "Technical Information").

,

PERICOLO!

Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tos-

sici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure

tipiche di ciascun gas.

Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi.

MANUTENZIONE

Le pompe della serie Turbo-V 81-M non richiedono alcuna manu-

tenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale

autorizzato.

,

PERICOLO!

Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo

dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposi-

ta valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed at-

tendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferio-

re a 50°C.

In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazio-

ne Varian o del "Varian advanced exchange service", che per-

mette di ottenere un sistema rigenerato in sostituzione di quello

guasto.

NOTA

Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni o a-

dvanced exchange service, è indispensabile compilare e far per-

venire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salute"

allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa

deve essere inserita nell'imballo del sistema prima della spedizio-

ne.

Qualora un sistema dovesse essere rottamato, procedere alla

sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifi-

che.

SMALTIMENTO

Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette

Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla

direttiva CE denominata "WEEE".

Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Eu-

ropea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve

essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali,

ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.

Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del di-

spositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il

processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna

verifica dei termini e condizioni contrattuali di vendita.

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