87-900-080-01 (D)
APRIL 2006
(I) MANUALE DI ISTRUZIONI
(D) BEDIENUNGSHANDBUCH
(F) NOTICE DE MODE D’EMPLOI
(GB) INSTRUCTION MANUAL
MidiVac
Controller
Model 929-5000
Model 929-5001
Model 929-5002
Model 929-5003
Model 929-5004
Model 929-5005
Model 929-5006
Model 929-5007
vacuum technologies
MidiVac Controller
ISTRUZIONI PER L’USO
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INFORMAZIONI GENERALI
Questa apparecchiatura è destinata ad uso
professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente
il presente manuale di istruzioni ed ogni altra
informazione addizionale fornita dalla Varian prima
dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene
sollevata da eventuali responsabilità dovute
all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso
improprio da parte di personale non addestrato, ad
interventi non autorizzati o ad uso contrario alle
normative nazionali specifiche.
Informazioni dettagliate sono fornite nell'appendice
“Technical information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
!
I messaggi di pericolo attirano l'attenzione
dell'operatore su una procedura o una pratica specifica
che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe
provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di
procedure che, se non osservate, potrebbero causare
danni all'apparecchiatura.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti estrapolate
dal testo.
DESCRIZIONE DEL CONTROLLER
Il controller MidiVac della Varian è un controller per le
pompe ioniche. L'unità può essere preconfigurata in
fabbrica a seconda delle necessità del cliente, o
possono essere ordinate separatamente dall'utente le
schede opzionali relative alla comunicazione seriale e
al “Set point”.
Il controller può essere configurato con due connettori
in modo da alimentare due pompe ioniche. In questo
caso i valori di corrente visualizzati corrispondono alla
somma dei due valori di corrente relativi a ciascuna
pompa.
Le versioni base del MidiVac sono dettagliate nella
seguente tabella (la polarità non è configurabile):
DESCRIZIONE P/N
Unità base con tensione
di alimentazione a 120
Vac e polarità negativa
929-5000
(singolo
connettore)
929-5004
(doppio
connettore)
Unità base con tensione
di alimentazione a 120
Vac e polarità positiva
929-5001
(singolo
connettore)
929-5005
(doppio
connettore)
Unità base con tensione
di alimentazione a 230
Vac e polarità negativa
929-5002
(singolo
connettore)
929-5006
(doppio
connettore)
Unità base con tensione
di alimentazione a 230
Vac e polarità positiva
929-5003
(singolo
connettore)
929-5007
(doppio
connettore)
IMMAGAZZINAMENTO
Durante il trasporto e l'immagazzinamento del
controller non devono essere superate le seguenti
condizioni ambientali:
temperatura: da -20 °C a +70 °C
umidità relativa: 0 - 95% (non condensante)
PERICOLO!
ISTRUZIONI PER L’USO
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PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE
Il controller viene fornito in un imballo protettivo
speciale; se si presentano segni di danni, che
potrebbero essersi verificati durante il trasporto,
contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare
particolare attenzione a non lasciar cadere il controller
e a non sottoporlo ad urti.
Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è
completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE
85/399 per la tutela dell'ambiente.
INSTALLAZIONE
!
Il controller è munito di un cavo di alimentazione a 3 fili
con una spina di sicurezza (approvata a livello
internazionale). Utilizzare questo cavo di alimentazione
e la spina insieme ad una presa munita di
collegamento di terra onde evitare folgorazioni.
Verificare che il collegamento di terra sia collegato in
modo corretto.
All'interno del controller si sviluppano alte tensioni che
possono recare gravi danni o la morte. Prima di
eseguire qualsiasi operazione di installazione o
manutenzione del controller scollegarlo dalla
alimentazione.
ATTENZIONE!
Il controller può essere usato sia come unità da tavolo
sia come modulo a rack, in ogni caso deve essere
posizionato in modo tale che l'aria possa circolare
liberamente attraverso i fori di areazione presenti sulla
copertura superiore e laterale.
Se il controller viene utilizzato come modulo a rack,
DEVE essere inserito in un adattatore alto quattro unità
rack a causa del suo peso.
Il pannello frontale del MidiVac non è previsto per
reggere il peso dell'unità.
Non installare o utilizzare il controller in un ambiente
esposto ad agenti atmosferici (pioggia, neve, ghiaccio),
polvere, gas corrosivi, o in un ambiente esplosivo o ad
alto rischio di infiammabilità.
NOTA
Se il controller è utilizzato come unità da tavolo,
estrarre i due piedini frontali. Se il controller è installato
in un rack, rimuovere i quattro piedini e posizionarlo
con almeno 30 mm (1.2 pollici) di spazio sopra e sotto.
Durante il funzionamento, occorre che siano rispettate
le seguenti condizioni ambientali:
temperatura: da 0 °C a +45 °C
umidità relativa: 0 - 95% (senza condensa)
Per collegare il controller alla pompa utilizzare il cavo
specifico non fornito.
NOTA
Il MidiVac viene fornito con un cavo di interlock
collegato tra la vite (4) e la boccola (8) (vedere la figura
del pannello posteriore): questo cavo non deve essere
rimosso altrimenti non sarà possibile accendere l’alta
tensione.
NOTA
Senza la connessione di interlock tra i pin 13 e 14 del
connettore I/O remoto non è possibile mettere in
funzione il controller. Per attivare o disattivare l'alta
tensione è necessario inserire un contatto a tensione
flottante tra i pin 13 e 14.
Per attivare l'alta tensione, i pin devono essere
cortocircuitati (con l'alta tensione attivata/disattivata,
portare l'interruttore del pannello frontale in posizione
ON).
Vedere l'appendice "Technical Information" per
informazioni dettagliate su questi ed altri collegamenti,
e sull'installazione delle schede opzionali.
PERICOLO!
ISTRUZIONI PER L’USO
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USO
In questo paragrafo sono riportate le principali
procedure operative. Per ulteriori dettagli e per
procedure che coinvolgono collegamenti o particolari
opzionali, fare riferimento al paragrafo "USE"
dell'appendice "Technical Information".
Prima di usare il controller effettuare tutti i collegamenti
elettrici e pneumatici e fare riferimento al manuale della
pompa collegata.
!
Per evitare danni alle persone ed all'apparato, nel caso
in cui il controller sia appoggiato su di un tavolo
assicurarsi che sia stabile.
Controlli ed Indicatori del Pannello Frontale
del MidiVac
La figura e la tabella della pagina seguente illustrano il
pannello frontale del controller MidiVac con il significato
e la funzione dei relativi controlli e degli indicatori.
NOTA
Alcuni controlli ed indicatori variano la loro funzione ed
il loro significato in funzione della posizione
dell’interruttore HV ON OFF. La tabella riporta entrambi
i significati ed entrambe le funzioni.
Pannello Posteriore del MidiVac
La figura seguente mostra i controlli e le connessioni
del pannello posteriore del controller MidiVac.
Informazioni dettagliate sulle connessioni illustrate
sono contenute nell’appendice “Technical Information”.
Pannello Posteriore del MidiVac
PERICOLO!
1) Connettore “Remote I/O” per controllo remoto
2) Predisposizione per connettore “Set Point” (opzionale)
3) Predisposizione per connettore seriale (opzionale)
4) Vite per collegamento del cavo di interlock
5) Predisposizione per secondo ingresso cavo di interlock
(opzionale)
6) Predisposizione per secondo connettore HV (opzionale)
7) Connettore HV
8) Ingresso cavo di interlock
9) Cavo di interlock
10) Fusibili
11) Presa di alimentazione da rete
12) Interruttore di alimentazione
ISTRUZIONI PER L’USO
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DESCRIZIONE RIF. DESCRIZIONE
con (12) su OFF con (12) su ON
1 Freccia in giù Quando premuto consente di diminuire il valore
della funzione selezionata con il pulsante (16).
Cambia il valore della tensione massima in uscita
dal controller da 7 kV a 5 kV e da 5 kV a 3 kV.
2 Freccia in su Quando premuto consente di aumentare il valore
della funzione selezionata con il pulsante (16).
Cambia il valore della tensione massima in uscita
dal controller da 3 kV a 5 kV e da 5 kV a 7 kV.
3 V Comando non abilitato. Quando premuto consente di visualizzare sul display
(9) il valore della tensione erogata alla pompa.
4 I Comando non abilitato. Quando premuto consente di visualizzare sul display
(9) il valore della corrente assorbita dalla pompa.
5 Set 2 Quando acceso indica che il display (9) sta
visualizzando il valore del Set Point 2 quando
selezionato tramite il pulsante (16).
Quando acceso indica che il valore di corrente ha
raggiunto il valore impostato del Set Point 2.
6 Set 1 Quando acceso indica che il display (9) sta
visualizzando il valore del Set Point 1 quando
selezionato tramite il pulsante (16).
Quando acceso indica che il valore di corrente ha
raggiunto il valore impostato del Set Point 1.
7 Amp Quando acceso indica che il display (9) sta
visualizzando la corrente assorbita dalla pompa.
8 KV Quando acceso indica che il display (9) sta
visualizzando la tensione erogata dal controller.
9 Display Visualizza i valori delle tensioni e delle correnti
selezionate tramite il pulsante (16).
Visualizza il valore della tensione erogata dal
controller, o la corrente assorbita dalla pompa.
10 3Kv / 5Kv / 7Kv Il LED acceso corrisponde alla tensione massima
erogabile dal controller.
Il LED acceso corrisponde alla tensione massima
erogabile dal controller.
11 PROTECT Quando acceso indica che è stato attivato il
funzionamento in modo “Protect”.
Quando lampeggia si è in fase di impostazione.
Quando acceso indica che è stato attivato il
funzionamento in modo “Protect”.
12 HV ON/OFF Accende l’alta tensione. Spegne l’alta tensione.
13 HV Quando acceso indica la presenza dell’alta tensione.
14 REMOTE Quando acceso indica che il controller è gestito da
un computer remoto.
Quando acceso indica che il controller è gestito da
un computer remoto.
15 START
PROT
Quando premuto permette di attivare il modo
“Protect”.
Il LED (11) lampeggia durante le operazioni di
impostazione.
Quando premuto permette di attivare il modo
“Protect”.
16 MENU Se il MidiVac è in modo “Remote” quando premuto
permette di passare in modo “Local”.
Se il MidiVac è in modo “Local” quando premuto
permette di accedere alle funzioni di impostazione.
Se il MidiVac è in modo “Remote” quando premuto
permette di passare in modo “Local”.
Se il MidiVac è in modo “Local” quando premuto
permette di passare in modo “Remote”.
ISTRUZIONI PER L’USO
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PROCEDURE DI USO
Modi di Funzionamento
Il controller MidiVac può essere comandato in locale
dal pannello frontale (modo “Local”), o da remoto
tramite un computer (modo “Remote”).
Se non è installata alcuna scheda di comunicazione il
modo “Remote” non è disponibile. Nel caso in cui sia
installata una scheda seriale è possibile forzare il modo
“Local” premendo il pulsante “Menu” del pannello
frontale: il LED “REMOTE” lampeggerà.
Con HV ON e “Local” temporaneo attivato si possono
effettuare tutte le operazioni previste in questo stato
(vedere la tabella dei comandi ed indicatori seguente);
al termine delle operazioni si può tornare al modo
“Remote” premendo nuovamente il pulsante “Menu”: il
LED “REMOTE” indicherà il funzionamento normale.
Con HV OFF e “Local” temporaneo attivato si può
accedere alle sole funzioni di impostazione parametri al
termine delle quali l’unità rimane in modo “Local”. Per
tornare al modo “Remote” occorre accendere l’alta
tensione e poi premere il pulsante “Menu”.
Se l’unità è in modo “Remote” e l’alta tensione è
accesa, la reale accensione dell’alta tensione dipende
dall’ultimo comando (accensione o spegnimento) dato
dal computer remoto. La condizione iniziale
predisposta in fabbrica è di spegnimento, per cui per
accendere l’alta tensione occorre passare in modo
“Local” premendo il tasto “Menu” del pannello frontale,
oppure inviare il comando di accensione dell’alta
tensione dal computer remoto.
Se l’unità è in modo “Remote” e l’alta tensione è
spenta, l’accensione dell’alta tensione è possibile solo
con l’apposito comando inviato dal computer remoto.
Il controller MidiVac può operare nei modi “Start” o
“Protect”.
Nel modo “Start”, dopo l’accensione dell’alta tensione,
il controller alimenta la pompa con la corrente
necessaria finché non interviene una condizione di
errore.
Nel modo “Protect si hanno due possibili condizioni:
1. All’accensione la corrente erogata è superiore al
valore di soglia impostato: in questo caso il
controller eroga in uscita la corrente richiesta finché
questa non scende sotto il valore di soglia
impostato, dopo di ché il controller entra nel vero
modo “Protect” e spegne l’alta tensione quando la
corrente erogata supera il valore di soglia
presentando sul display il messaggio di errore
“Err2”.
2. All’accensione la corrente erogata è inferiore al
valore di soglia impostato: in questo caso, dopo un
periodo di assestamento di 30 secondi durante il
quale non viene controllata la corrente, il controller
spegne l’alta tensione nel caso in cui la corrente
erogata superi il valore di soglia e presenta sul
display il messaggio di errore “Err2”.
Accensione e Spegnimento
Per accendere il controller occorre portare su I
l’interruttore di alimentazione posto sul pannello
posteriore (vedi figura in alto). Per accendere l’alta
tensione è sufficiente portare su ON l’interruttore (12)
del pannello frontale. Una volta accesa l’alta tensione i
LED (10) del pannello frontale indicano il valore di
tensione massima impostato. Per visualizzare sul
display il valore della tensione in uscita occorre
premere il pulsante (3) del pannello frontale; per
visualizzare la corrente occorre invece premere il
pulsante (4).
NOTA
Il valore della tensione in uscita può variare in funzione
della corrente: vedere il diagramma tensione/corrente
riportato nel paragrafo “MidiVac controller description”
dell’appendice “Technical Information”.
Per spegnere la sola alta tensione portare su OFF
l’interruttore (12) del pannello frontale. Per spegnere il
controller portare su 0 l’interruttore di alimentazione
posto sul pannello posteriore.
MANUTENZIONE
Il controller MidiVac non richiede alcuna manutenzione.
Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale
autorizzato. In caso di guasto è possibile usufruire del
servizio di riparazione Varian o del "Varian advance
exchange service", che permette di ottenere un
controller nuovo in sostituzione di quello guasto.
!
Prima di effettuare qualsiasi intervento sul controller
scollegare il cavo di alimentazione.
Qualora un controller dovesse essere rottamato,
procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle
normative nazionali specifiche.
SMALTIMENTO
Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette.
Il simbolo qui sotto riportato è applicato in
ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE".
Questo simbolo (valido solo per i paesi della
Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è
applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni
rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad
un sistema di raccolta differenziata. Si invita pertanto
l'utente finale a contattare il fornitore del dispositivo, sia
esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il
processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna
verifica dei termini e condizioni contrattuali di vendita.
PERICOLO!
ISTRUZIONI PER L’USO
6 87-900-080-01 (D)
MESSAGGI DI ERRORE
Per certi tipi di guasti il controller esegue una auto-
diagnostica e visualizza uno dei messaggi mostrati
nella tabella seguente.
Nel caso in cui si dovesse bruciare il fusibile F1 interno
al controller, il display presenta per alcuni secondi
l’indicazione di Vout=0.0, e poi il messaggio “Err 3”.
NOTA
La rimozione della copertura del MidiVac comporta
l’apertura del microiunterruttore di sicurezza e quindi
l’interruzione dell’alimentazione, per cui il MidiVac e
tutti i suoi indicatori si spengono e non vi è alcuna
segnalazione sul display.
MESSAGGIO DESCRIZIONE AZIONE CORRETTIVA
Err 1 E’ stata rilevata una condizione di corto
circuito (messaggio “SCr”) per più di 3 minuti.
La pressione nella pompa è troppo alta.
Spegnere l’alta tensione e verificare che il cavo
dell’alta tensione non sia in corto circuito.
Migliorare la pressione di roughing nella
pompa.
Spegnere e quindi riaccendere l’alta tensione.
Se l’errore si ripresenta chiamare l’assistenza
Varian.
Err 2 l controller ha spento l’alta tensione per
l’intervento del “Protect”.
Selezionare il modo di funzionamento “Start”.
Portare su OFF l’interruttore HV (12). Se si
vuole accendere l’alta tensione anche se la
corrente è superiore al livello di “Protect”,
portare su ON l’interruttore HV (12).
Err 3 Guasto generico dei circuiti di controllo
dell’alta tensione.
Spegnere e riaccendere il controller. Se l’errore
si ripresenta chiamare l’assistenza Varian.
Err 5 L’interlock del cavo dell’alta tensione è aperto. Se si dispone di un cavo alta tensione con il filo
di interlock, verificare che il connettore dal lato
della pompa sia inserito correttamente.
Nel caso in cui non si disponesse di tale cavo,
verificare che il cavetto fornito con l’unità sia
collegato tra la massa e la boccola posta sotto
il connettore dell’alta tensione.
Spegnere e riaccendere il controller. Se l’errore
si ripresenta chiamare l’assistenza Varian.
SCr L’uscita dell’alta tensione è in corto circuito.
La pressione della pompa è troppo alta.
Se questa condizione permane per più di 3
minuti, il controller spegne l’alta tensione e
presenta il messaggio “Err 1”.
Spegnere il controller, verificare lo stato
dell’uscita dell’alta tensione e rimuovere la
causa del corto circuito. Migliorare la pressione
di roughing della pompa.
Spegnere e riaccendere il controller. Se l’errore
si ripresenta chiamare l’assistenza Varian.
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